Capire come viene realizzato il processo di rivestimento del vuoto

Rivestimento a vuotoè un processo utilizzato per produrre materiali a film sottile di alta qualità. Produce film sottili evaporando o sputando materiali organici o inorganici sulla superficie di un substrato in condizioni di vuoto. Questo articolo introdurrà in dettaglio l'implementazione del rivestimento a vuoto.

Il processo di rivestimento del vuoto include i seguenti passaggi:

1. Scegli il substrato e il materiale giusto

La scelta del substrato e del materiale giusto è il primo passo nel rivestimento sotto vuoto. Il substrato può essere vetro, plastica, metallo o altri nanomateriali. I materiali possono essere organici o inorganici, come metalli, semiconduttori, ossidi o nitruri.

2. Carica il sistema di rivestimento del vuoto

Il secondo passo è caricare il substrato e i materiali nel sistema di rivestimento sotto vuoto. Il sistema di rivestimento a vuoto comprende una camera a vuoto, un evaporatore in metallo, uno sputter e un sistema di controllo. La camera del vuoto è uno spazio chiuso utilizzato per mantenere un ambiente di vuoto, gli evaporatori di metallo e gli sputtrio sono dispositivi utilizzati per evaporare o sputterra materiali su substrati e il sistema di controllo viene utilizzato per monitorare e regolare l'ambiente del vuoto e l'evaporazione dei materiali o la velocità di sputtering.

3. vuoto

Dopo aver caricato il materiale e il substrato, la camera del vuoto dovrebbe essere evacuata. L'aspirazione è un passo molto importante, perché il mantenimento di un ambiente a bassa pressione e ad alta purezza può garantire la qualità della membrana. L'ambiente del vuoto è generalmente inferiore a 10^-6 Mbar per escludere molecole di gas e altri inquinanti.

4. Evaporazione del materiale o sputtering

Quando l'ambiente del vuoto raggiunge la pressione desiderata, il materiale può essere evaporato o sputato sul substrato. Esistono due metodi di evaporazione del materiale: evaporazione termica ed evaporazione del fascio di elettroni. Lo sputtering ha anche due metodi: sputtering magnetron e sputtering dell'arco. Qualunque metodo venga utilizzato, è necessario controllare l'evaporazione del materiale o la velocità di sputtering e lo spessore del film.

5. Realizza il film multistrato

Una volta fabbricata una membrana a singolo livello, più strati possono essere impilati insieme per formare un composito. È possibile utilizzare diversi materiali e processi di deposizione, come deposizione alternata, co-deposizione di materiale multi-gun e deposizione suddivisa in zone.

6. Test di qualità della membrana

Il passaggio finale è testare la qualità della membrana. I test possono includere spessore, proprietà fisiche, proprietà ottiche e proprietà elettriche, tra gli altri. Determina se il materiale della membrana soddisfa i requisiti in base ai risultati del test.

In breve, la tecnologia di rivestimento a vuoto è un metodo per ottenere film sottili di alta qualità. Deve selezionare il substrato e il materiale appropriati, caricare il sistema di rivestimento a vuoto, aspirare, evaporare il materiale o sputtering, realizzare film multistrato e testare la qualità del film. La tecnologia di rivestimento a vuoto è stata ampiamente utilizzata in campi elettronici, ottici, medici ed energetici.