Manutenzione e riparazione di attrezzature per rivestimento sotto vuoto

Manutenzione dell'attrezzatura per rivestimento sotto vuoto
1.1 Manutenzione della pompa del vuoto meccanico:
(1) La pompa e l'ambiente circostante devono essere sempre mantenuti puliti.
(2) Durante il funzionamento della pompa, il volume dell'olio nel serbatoio dell'olio non deve essere inferiore al centro del puntatore dell'olio.
(3) Gli oli per pompa a vuoto di diversi tipi e marchi non possono essere miscelati.
(4) L'ascesa di temperatura della pompa in uso non deve superare il 70 C.
(5) L'olio della nuova pompa deve essere modificato per 1 ~ 2 volte dopo che è stata utilizzata per circa 100 ore. Dopo che l'olio sostituito non si trova più per contenere polvere di metallo ferroso, può essere sostituito
Estendere il periodo di cambio dell'olio. Il periodo di cambio dell'olio deve essere determinato in base alle disposizioni delle istruzioni e alla situazione effettiva di utilizzo.
(6) La nuova pompa e la pompa riparata devono essere testate per 4 ~ 6H per verificare se la pompa soddisfa i requisiti di utilizzo.
(7) dopo che la pompa viene utilizzata a lungo (che va da 2 a 3 anni), il grado di vuoto limite diminuisce e dovrebbe essere revisionato una volta. Dovrebbe anche
Pulire e riparare il sistema, la tubazione, la valvola e il motore.
(8) Quando la pompa è in uso, a causa di incidenti speciali come danni al sistema o quando l'ingresso dell'aria viene improvvisamente esposta all'atmosfera, la pompa deve essere fermata il prima possibile e spento
Scollegare il tubo a vuoto collegato al sistema (chiudere la valvola a vuoto bassa o morsetto il morsetto sotto vuoto) per prevenire l'iniezione dell'olio e l'inquinamento del luogo di lavoro.
(9) Non smontare tutte le parti della pompa senza autorizzazione. (10) Quando la pompa non è in uso, utilizzare una spina in gomma (tappo)
Collegare l'ingresso dell'aria per evitare che lo sporco e gli oggetti duri cadano nella pompa. (11) Presta sempre attenzione alla tendenza di sviluppo della tecnologia del vuoto e cerca di introdurre nuove tecnologie e materiali (come il nuovo olio di pompa) il più presto possibile per migliorare le prestazioni del sistema originale. Per i punti di cui sopra, le procedure operative corrispondenti possono essere formulate e rigorosamente implementate in base alla situazione specifica.
1.2 Manutenzione giornaliera dell'intero set di attrezzature:
(1) Gli operatori dovrebbero avere familiarità con vari strumenti, pompe e varie parti di attrezzature. Leggi e comprendi varie istruzioni.
(2) La pressione dell'acqua dell'acqua di raffreddamento deve essere mantenuta tra 0,1 ~ 0,2 MPa e la temperatura dell'acqua di uscita W 45C.
(3) La pressione dell'aria compressa è compresa tra 0,4 ~ 0,5 MPa.
(4) Prima di iniziare ciascuna caldaia, controllare la capacità del cilindro del gas protettivo per evitare un riempimento di gas insufficiente e sostituire il cilindro.
(5) Se esiste una condizione anormale dopo l'avvio, dovrebbe essere eliminato immediatamente o chiudere per trovare la causa.

(6) Controllare frequentemente il volume dell'acqua di ritorno di ciascuna parte e assicurarsi che vi sia sufficiente acqua di raffreddamento per ciascuna parte durante il funzionamento.
(7) (7) Quando l'attrezzatura è fuori uso, il gas nel forno dovrebbe essere evacuato. Se non viene utilizzato a lungo, dovrebbe essere riempito con gas protettivo e l'acqua circolante nella giacca per raffreddamento ad acqua dell'attrezzatura deve essere scaricata.
(8) La pompa meccanica e la pompa delle radici devono essere modificate e rifornite regolarmente e la tazza di olio della pompa delle radici deve essere sempre riempita di olio. Quando si cambia olio, assicurati di
Scolare l'olio di rifiuti.
(9) Quando si cambia l'olio della pompa di diffusione, se c'è ossidazione all'interno, pulire lo strato di ossidazione all'interno della pompa di diffusione e quindi sostituirlo con nuovo olio.
(10) La purezza del gas protettivo carico non dovrebbe essere inferiore al 99,99%.
(11) I gas infiammabili, esplosivi e corrosivi non possono essere utilizzati come atmosfera protettiva per questa attrezzatura.
(12) La superficie dell'attrezzatura e la superficie dello strumento devono essere mantenute pulite. Non è consentito pulire la parete interna della fornace con acqua o non vuoto
Pulisci con uno straccio oleoso.
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(14) La tensione dell'intera attrezzatura deve trovarsi nell'intervallo di 350 ~ 420 v. Le tre fasi dovrebbero essere bilanciate.
(15) Il regolamento, il manometro di contatto elettrico, la termocoppia, ecc. Dovrebbero essere spesso rivestiti con olio di pompa di diffusione per formare un film d'olio tra esso e il sedile,
Prevenire le perdite d'aria. Le parti di cui sopra e le connessioni della flangia non possono essere sigillate con il fango con sigillatura sotto vuoto per lungo tempo.
(16) I bulloni di ciascuna parte devono essere controllati regolarmente. Se si trovano allentati, devono essere serrati nel tempo.
(17) Quando l'attrezzatura funziona, presta attenzione alla visualizzazione di ogni strumento e al suono di ciascuna pompa, in modo da scoprire le anomalie in tempo e scoprirlo
(18) L'ambiente operativo dell'attrezzatura è ad un'umidità relativa dell'85% A e una temperatura di 10 ~ 40 C. Quando si smontano e si riparano l'attrezzatura, tutte le parti non lo sono
È autorizzato a bussare con un martello pesante e la superficie di tenuta e la scanalatura di tenuta non devono essere graffiati.
(19) Quando l'attrezzatura funziona, l'operatore non deve lasciare il posto per molto tempo.
Manutenzione dell'attrezzatura per rivestimento sotto vuoto
2.1 Punti chiave di manutenzione dell'attrezzatura per rivestimento sotto vuoto:
Il punto chiave per mantenere l'attrezzatura a vuoto è giudicare il guasto. È spesso che il vuoto non può essere pompato. Potrebbero esserci diversi motivi. Dobbiamo scoprire i motivi. Forse l'unità sottovuoto ha una capacità di pompaggio insufficiente o il tasso di perdita è elevato o entrambi. Al momento, dovresti osservare e registrare pazientemente per scoprire la colpa. Ad esempio, se il tempo di evacuazione è lo stesso e il grado di vuoto è basso, chiudere la valvola principale in questo momento. Se il puntatore dell'indicatore del vuoto diminuisce rapidamente, nella maggior parte dei casi, la camera del vuoto perde. Al momento, il punto di perdita dovrebbe essere scoperto per primo. Come vuoto
Il puntatore del contatore scende molto lentamente. Nella maggior parte dei casi, la capacità di pompaggio dell'unità sotto vuoto è insufficiente. Al momento, possiamo concentrarci sulla ricerca della pompa e della valvola
Per vedere dove c'è perdite o l'olio di pompa di diffusione viene inquinato e ossidato; Oppure la conduttura del Front Stage non è ben sigillata,
Olio di pompa insufficiente; O emulsionamento dell'olio di pompa, perdita di olio dell'albero e altri guasti.
1 、 Tasso di perdita di rilevamento:
Il problema più problematico per gli utenti è il tasso di perdita di rilevamento. La perdita è divisa in perdite interne e perdite esterne. La perdita esterna è più facile da rilevare, mentre la perdita interna è difficile
Fai un po '. Per punti di dispersione più grandi, è possibile utilizzare il metodo di fiamma. Usando il principio secondo cui il flusso d'aria può rendere la fiamma di deviazione, aspirare prima, come l'uso di candele
Oppure l'accendino viene gradualmente perquisito vicino al punto sospetto e si trova la fiamma che si sposta sul punto di perdita, quindi si può trovare il punto di perdita.
(1) Trova perdite e micro perdite:
Piccole perdite e micro perdite sono più difficili da verificare. Il metodo comunemente usato è quello di utilizzare il tubo di ionizzazione per rilevare perdite essendo sensibili a determinati gas in uno stato di vuoto elevato, come acetone o etanolo. Usa una siringa medica per spruzzare acetone o etanolo in luoghi sospetti. Quando raggiunge il punto di perdita, il puntatore del misuratore di ionizzazione oscilla ovviamente. Dobbiamo essere pazienti per utilizzare questo metodo per rilevare le perdite. Dobbiamo attendere che l'indicazione del misuratore di ionizzazione sia stabile, ovvero la capacità di pompaggio e la velocità di perdita dell'unità sottovuoto sono bilanciati e quindi spruzzati. Ripeti più volte per confermare il punto di perdita. (2) Cerca perdite e perdite esterne: la perdita interna si verifica principalmente sull'apparecchiatura con giacca raffreddata ad acqua. Non si trova dubbi nell'ispezione di perdite esterne, ma esistono i seguenti fenomeni: la velocità di pompaggio della pompa meccanica è ovviamente bassa, il valore di indicazione dell'indicatore del vuoto è basso, l'olio della pompa meccanica viene rapidamente emulsionato e le parti a base di ferro nella camera del vuoto sono ovviamente arrugginite. Con le condizioni di cui sopra, la perdita interna può essere sostanzialmente determinata. Ad esempio, c'è un forno a media frequenza da 25 kg dotato di pompa a paletta rotante 2x-70 e due pompe per radici ZJ-150. Quando vengono pompati insieme, possono solo pompare 10 Pa. La funzione della pompa ZJ-150 non può essere vista e non viene trovata alcuna perdita esterna, ma ci sono condizioni per l'olio della pompa meccanica che emulsionano rapidamente e le parti di base di ferro nella camera del vuoto sono ovviamente arrugginite. Dopo aver pulito l'attrezzatura di smontaggio, la perdita di copertura del forno viene trovata passando l'acqua di raffreddamento e il resto è quello di scoprire il punto di perdita. Pulisci prima la parete interna e quindi collega l'acqua di raffreddamento per vedere se c'è qualche punto bagnato. Il punto bagnato è il punto di perdita.
2 、 Risoluzione dei problemi:
Scopri il punto di errore e affrontalo in base alle condizioni locali. Il modo semplice è sostituire le parti, piccole come anelli di gomma e bulloni; Grandi come le valvole e le pompe a vuoto, puoi cambiarle finché le hai a portata di mano. Le parti da saldare devono essere eseguite in base ai requisiti ed è anche necessario confermare se i requisiti sono soddisfatti dopo la saldatura.